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      早在2011年365智控子公司日本365微手艺有限公司最先研发用于HUD和Pico投影仪的MEMS微振镜
。随着手艺迭代
，后续最先研发用于汽车激光雷达的MEMS微振镜
，并在2020年乐成实现量产
。为了进一步加大在车载激光雷达领域的研发和生产力度
，365智控于2022年召募专项资金
，用于MEMS微振镜产品的研发与生产
。此次新一代8毫米MEMS微振镜的宣布推动了365智控自主研发半导体战略结构的历程
，也为365智控（集团）的战略生长增添动力
。

      MEMS微振镜的镜面尺寸对激光雷达的测距能力至关主要
，特殊是在同轴结构的激光雷达中
，较大尺寸的MEMS微振镜能够增添出光和收光量
，从而极大地扩展雷达的扫描距离并提升其测距能力
。此次365智控推出新一代产品
，相较已经宣布的1毫米、4毫米规格
，具备更大的镜面尺寸
，适用于长距车载激光雷达, 拥有诸多优势：

•    驱动电压
  ，FOV宽阔

       接纳电磁驱动
，相较于静电驱动、压电驱动等驱动方法而言
，电磁驱动所需的电压仅3V
，可靠性高
，并且能实现更宽阔的FOV（30°x25°）
。

•    H/V二维扫描
  ，双轴低串扰

      接纳双轴自力驱动的模式
，可举行二维扫描
。其中H轴属于谐振式驱动
，V轴属于线性驱动(光栅扫描)；两轴驱动信号之间低串扰
。

•    高效率&低功耗并存

      H轴谐振频率达800Hz
，V轴驱动频率为1~100Hz(10Hz)；镜面镀金
，反射率抵达97%
， 可实现更高水平的成像精度和区分率
。同时
，该产品功耗低至136mW
，扫描更为高效
。

•    体积小重量轻
  ，助力激光雷达小型化

    封装尺寸压缩至24.8*23.14*7.58（mm）
，重量仅11g
。在挣脱古板体积较大的机械运动装置的同时
，镌汰了激光器和探测器数目
，整体上使激光雷达体积和本钱更可控
。

•    类车规级别可靠性

       针对车载温度要求高
，以及镜面直径需求越来越大
，悬臂梁结构难以支持的手艺难点
。365智控对简单MEMS微振镜举行类车规级别（低温-40℃
，高温105℃）内部可靠性验证
，佐以10-2000Hz
，3.11GRMS
，20hrs, 6axis规格的振动验证
。测试效果显示
，365智控此前宣布的MEMS微振镜产品在该级别要求的温度、湿度、振动、攻击等测试中均体现优异
，能耐受该级别温度转变、振动与攻击
，知足激光雷达在车载事情情形中的可靠性要求
。

      在深入相识海内激光雷达客户需求的基础上
，连系365智控数十年手艺沉淀
，推出了全新一代大尺寸MEMS微振镜产品
，为行业带来更先进的解决计划
。

      365智控的最新一代MEMS微振镜产品在继续前代产品可芯片化、无机械组件和毫米级尺寸等特征的基础上
，进一步优化了产品的体积和本钱
，并在可靠性、量程等方面实现了手艺的重大突破
。

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 工业子公司：深圳市365极光微手艺有限公司

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